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當前位置：首頁產品中心發生器光電玻璃制造CVD氣源發生器

CVD氣源發生器

產品簡介

CVD氣源發生器，設備配備預壓料桶、與大氣隔離的泵模組、高穩定/耐腐蝕蒸發器以及一體化設計的嵌入式預熱器。

更新時間：2025-05-13
廠商性質：生產廠家
訪問量：326
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設備配備預壓料桶、與大氣隔離的泵模組、高穩定/耐腐蝕蒸發器以及一體化設計的嵌入式預熱器。液態前驅體經過蒸發段氣化，隨后調溫輸出。輸出組分進一步分布或混合，為CVD工藝提供氣態原料。前驅體接觸的材質均采用耐腐蝕材料。

例

PLC控制系統，Ethernet通訊，與CVD生產線主控系統通訊。


 


 

含錫前驅體  

≤60  

sccm  

含氟前驅體  

≤20  

sccm  

H2O  

≤60  

sccm  

功率  

7.5  

kW  

 

 

 



CVD氣源發生器  



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